Controlled fluoridation of amorphous carbon films deposited at reactive plasma conditions
, , oraz
30 sie 2016
O artykule
Data publikacji: 30 sie 2016
Zakres stron: 606 - 611
Otrzymano: 13 sty 2014
Przyjęty: 31 maj 2015
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0088
Słowa kluczowe
© 2016
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Yoffe, Alexander
Zon, Ilya
Feldman, Yishay
Shelukhin, Victor