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Controlled fluoridation of amorphous carbon films deposited at reactive plasma conditions

Alexander Yoffe

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Ilya Zon

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Victor Shelukhin

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Shelukhin, Victor
  
30. Aug. 2016
Controlled fluoridation of amorphous carbon films deposited at reactive plasma conditions's Cover Image
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Online veröffentlicht: 30. Aug. 2016
Seitenbereich: 606 - 611
Eingereicht: 13. Jan. 2014
Akzeptiert: 31. Mai 2015
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0088
Schlüsselwörter
© 2016
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Yoffe, Alexander
Zon, Ilya
Feldman, Yishay
Shelukhin, Victor
Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
4 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Materialwissenschaft, Materialwissenschaft, andere, Nanomaterialien, Funktionelle und Intelligente Materialien, Charakterisierung und Eigenschaften von Materialien
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