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Controlled fluoridation of amorphous carbon films deposited at reactive plasma conditions

Alexander Yoffe

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Yoffe, Alexander
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Ilya Zon

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Victor Shelukhin

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Shelukhin, Victor
  
30 août 2016
Controlled fluoridation of amorphous carbon films deposited at reactive plasma conditions's Cover Image
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Publié en ligne: 30 août 2016
Pages: 606 - 611
Reçu: 13 janv. 2014
Accepté: 31 mai 2015
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0088
Mots clés
© 2016
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Yoffe, Alexander
Zon, Ilya
Feldman, Yishay
Shelukhin, Victor
Langue:
Anglais
Périodicité:
4 fois par an
Sujets de la revue:
Sciences des matériaux, Sciences des matériaux, autres, Nanomatériaux, Matériaux fonctionnels et intelligents, Caractérisation et propriétés des matériaux
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