Controlled fluoridation of amorphous carbon films deposited at reactive plasma conditions
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30 ago 2016
INFORMAZIONI SU QUESTO ARTICOLO
Pubblicato online: 30 ago 2016
Pagine: 606 - 611
Ricevuto: 13 gen 2014
Accettato: 31 mag 2015
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0088
Parole chiave
© 2016
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Yoffe, Alexander
Zon, Ilya
Feldman, Yishay
Shelukhin, Victor