Structure of AlN films deposited by magnetron sputtering method
, , , oraz
30 sie 2016
O artykule
Data publikacji: 30 sie 2016
Zakres stron: 639 - 643
Otrzymano: 15 sty 2015
Przyjęty: 25 kwi 2015
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0073
Słowa kluczowe
© 2016
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Nowakowska-Langier, K.
Chodun, R.
Zdunek, K.
Minikayev, R.
Nietubyc, R.