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Structure of AlN films deposited by magnetron sputtering method

K. Nowakowska-Langier

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Nietubyc, R.
  
30 ago 2016
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Publicado en línea: 30 ago 2016
Páginas: 639 - 643
Recibido: 15 ene 2015
Aceptado: 25 abr 2015
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0073
Palabras clave
© 2016
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Nowakowska-Langier, K.
Chodun, R.
Zdunek, K.
Minikayev, R.
Nietubyc, R.
Idioma:
Inglés
Calendario de la edición:
4 veces al año
Temas de la revista:
Ciencia de los materiales, Ciencia de los materiales, otros, Nanomateriales, Materiales funcionales e inteligentes, Características y propiedades de los materiales
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