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Materials Science-Poland
Volumen 33 (2015): Edición 3 (Septiembre 2015)
Acceso abierto
Structure of AlN films deposited by magnetron sputtering method
K. Nowakowska-Langier
K. Nowakowska-Langier
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Nowakowska-Langier, K.
,
R. Chodun
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Minikayev, R.
y
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Nietubyc, R.
30 ago 2016
Materials Science-Poland
Volumen 33 (2015): Edición 3 (Septiembre 2015)
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Publicado en línea:
30 ago 2016
Páginas:
639 - 643
Recibido:
15 ene 2015
Aceptado:
25 abr 2015
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2015-0073
Palabras clave
AlN films
,
magnetron sputtering method
,
crystalline structure
© 2016
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
