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Materials Science-Poland
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Stereometric analysis of Ta
2
O
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thin films
Dinara Sobola
Dinara Sobola
Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, Physics Department
Brno,
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Sobola, Dinara
,
Pavel Kaspar
Pavel Kaspar
Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, Physics Department
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Kaspar, Pavel
,
Jindrich Oulehla
Jindrich Oulehla
Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, Physics Department
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Oulehla, Jindrich
,
Ştefan Ţălu
Ştefan Ţălu
Technical University of Cluj-Napoca, The Directorate of Research, Development and Innovation Management (DMCDI)
Cluj-Napoca, Romania
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Ţălu, Ştefan
und
Nikola Papež
Nikola Papež
Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, Physics Department
Brno,
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Papež, Nikola
10. Jan. 2020
Materials Science-Poland
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COVER HERUNTERLADEN
Online veröffentlicht:
10. Jan. 2020
Eingereicht:
04. Okt. 2018
Akzeptiert:
23. Apr. 2019
DOI:
https://doi.org/10.2478/msp-2019-0083
Schlüsselwörter
atomic force microscopy
,
stereometric analysis
,
TaO
,
topography
© 2019 Dinara Sobola et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.
