Logowanie
Zarejestruj się
Zresetuj hasło
Publikuj i Dystrybuuj
Rozwiązania Wydawnicze
Rozwiązania Dystrybucyjne
Dziedziny
Architektura i projektowanie
Bibliotekoznawstwo i bibliologia
Biznes i ekonomia
Chemia
Chemia przemysłowa
Filozofia
Fizyka
Historia
Informatyka
Inżynieria
Inżynieria materiałowa
Językoznawstwo i semiotyka
Kulturoznawstwo
Literatura
Matematyka
Medycyna
Muzyka
Nauki farmaceutyczne
Nauki klasyczne i starożytne studia bliskowschodnie
Nauki o Ziemi
Nauki o organizmach żywych
Nauki społeczne
Prawo
Sport i rekreacja
Studia judaistyczne
Sztuka
Teologia i religia
Zagadnienia ogólne
Publikacje
Czasopisma
Książki
Materiały konferencyjne
Wydawcy
Blog
Kontakt
Wyszukiwanie
EUR
USD
GBP
Polski
English
Deutsch
Polski
Español
Français
Italiano
Koszyk
Home
Czasopisma
Journal of Electrical Engineering
Tom 71 (2020): Zeszyt 5 (September 2020)
Otwarty dostęp
Fabrication of nano-patterns of photoresist by ultraviolet lithography and oxygen plasma
E Cheng
E Cheng
,
Suzhou Tang
Suzhou Tang
,
Helin Zou
Helin Zou
,
Zhengyan Zhang
Zhengyan Zhang
oraz
Yao Wang
Yao Wang
| 26 lis 2020
Journal of Electrical Engineering
Tom 71 (2020): Zeszyt 5 (September 2020)
O artykule
Poprzedni artykuł
Następny artykuł
Abstrakt
Referencje
Autorzy
Artykuły w tym zeszycie
Podgląd
PDF
Zacytuj
Udostępnij
Article Category:
Papers
Data publikacji:
26 lis 2020
Zakres stron:
359 - 364
Otrzymano:
16 wrz 2020
DOI:
https://doi.org/10.2478/jee-2020-0049
Słowa kluczowe
nano-patterns
,
fabrication
,
ultraviolet lithography
,
oxygen plasma
© 2020 E Cheng et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
E Cheng
School of Mechanical Engineering, Hebei University of Technology
PR China
Research Institute for Structure Technology of Advanced Equipment Hebei University of Technology
PR China
Suzhou Tang
School of Economics and Management, Tianjin University of Science and Technology
China
Helin Zou
Key Laboratory for Micro/Nano Technology and Systems of Liaoning Province, Dalian University of Technology
Dalian, China
Zhengyan Zhang
School of Mechanical Engineering, Hebei University of Technology
PR China
Yao Wang
School of Mechanical Engineering, Hebei University of Technology
PR China
Research Institute for Structure Technology of Advanced Equipment Hebei University of Technology
PR China