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Structural and surface analysis of chemical vapor deposited boron doped aluminum nitride thin film on aluminum substrates

Shanmugan Subramani

Shanmugan Subramani

Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
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Subramani, Shanmugan
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Mutharasu Devarajan

Mutharasu Devarajan

Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
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Devarajan, Mutharasu
  
18 ott 2019
Structural and surface analysis of chemical vapor deposited boron doped aluminum nitride thin film on aluminum substrates's Cover Image
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Pubblicato online: 18 ott 2019
Pagine: 395 - 403
Ricevuto: 19 apr 2018
Accettato: 23 apr 2019
DOI: https://doi.org/10.2478/msp-2019-0056
Parole chiave
© 2019 Shanmugan Subramani et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Lingua:
Inglese
Frequenza di pubblicazione:
4 volte all'anno
Argomenti della rivista:
Scienze materiali, Scienze materiali, altro, Nanomateriali, Materiali funzionali ed intelligenti, Caratteristica e proprietà dei materiali
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