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Structural and surface analysis of chemical vapor deposited boron doped aluminum nitride thin film on aluminum substrates

Shanmugan Subramani

Shanmugan Subramani

Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
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Subramani, Shanmugan
 et 
Mutharasu Devarajan

Mutharasu Devarajan

Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
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Devarajan, Mutharasu
  
18 oct. 2019
Structural and surface analysis of chemical vapor deposited boron doped aluminum nitride thin film on aluminum substrates's Cover Image
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Publié en ligne: 18 oct. 2019
Pages: 395 - 403
Reçu: 19 avr. 2018
Accepté: 23 avr. 2019
DOI: https://doi.org/10.2478/msp-2019-0056
Mots clés
© 2019 Shanmugan Subramani et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Langue:
Anglais
Périodicité:
4 fois par an
Sujets de la revue:
Sciences des matériaux, Sciences des matériaux, autres, Nanomatériaux, Matériaux fonctionnels et intelligents, Caractérisation et propriétés des matériaux
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