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Structural and surface analysis of chemical vapor deposited boron doped aluminum nitride thin film on aluminum substrates

Shanmugan Subramani

Shanmugan Subramani

Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
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Subramani, Shanmugan
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Mutharasu Devarajan

Mutharasu Devarajan

Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
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Devarajan, Mutharasu
  
18 oct 2019
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Publicado en línea: 18 oct 2019
Páginas: 395 - 403
Recibido: 19 abr 2018
Aceptado: 23 abr 2019
DOI: https://doi.org/10.2478/msp-2019-0056
Palabras clave
© 2019 Shanmugan Subramani et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Idioma:
Inglés
Calendario de la edición:
4 veces al año
Temas de la revista:
Ciencia de los materiales, Ciencia de los materiales, otros, Nanomateriales, Materiales funcionales e inteligentes, Características y propiedades de los materiales
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