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Structural and surface analysis of chemical vapor deposited boron doped aluminum nitride thin film on aluminum substrates

Shanmugan Subramani

Shanmugan Subramani

Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
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Subramani, Shanmugan
 und 
Mutharasu Devarajan

Mutharasu Devarajan

Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
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Devarajan, Mutharasu
  
18. Okt. 2019
Structural and surface analysis of chemical vapor deposited boron doped aluminum nitride thin film on aluminum substrates's Cover Image
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Online veröffentlicht: 18. Okt. 2019
Seitenbereich: 395 - 403
Eingereicht: 19. Apr. 2018
Akzeptiert: 23. Apr. 2019
DOI: https://doi.org/10.2478/msp-2019-0056
Schlüsselwörter
© 2019 Shanmugan Subramani et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
4 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Materialwissenschaft, Materialwissenschaft, andere, Nanomaterialien, Funktionelle und Intelligente Materialien, Charakterisierung und Eigenschaften von Materialien
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