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Materials Science-Poland
Volume 33 (2015): Numero 3 (Settembre 2015)
Accesso libero
Multifractal characteristics of titanium nitride thin films
Ştefan Ţălu
Ştefan Ţălu
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Ţălu, Mihai
30 ago 2016
Materials Science-Poland
Volume 33 (2015): Numero 3 (Settembre 2015)
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Pubblicato online:
30 ago 2016
Pagine:
541 - 548
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2015-0086
Parole chiave
atomic force microscopy
,
DC magnetron sputtering
,
multifractal analysis
,
surface roughness
,
titanium nitride (TiN) thin film
© 2016
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
