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Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering

Sebastian Stach

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Lubomír Grmela

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Grmela, Lubomír
  
13 mar 2015
Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering's Cover Image
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Pubblicato online: 13 mar 2015
Pagine: 175 - 184
Ricevuto: 02 set 2014
Accettato: 01 dic 2014
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0036
Parole chiave
© 2015
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Lingua:
Inglese
Frequenza di pubblicazione:
4 volte all'anno
Argomenti della rivista:
Scienze materiali, Scienze materiali, altro, Nanomateriali, Materiali funzionali ed intelligenti, Caratteristica e proprietà dei materiali
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