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Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering

Sebastian Stach

Stach, Sebastian

,

Dinara Dallaeva

Dallaeva, Dinara

,

Ţălu, Ştefan

,

,

Tománek, Pavel

,

Stefano Giovanzana

Giovanzana, Stefano

et

Lubomír Grmela

Grmela, Lubomír

13 mars 2015

Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering's Cover Image

Materials Science-Poland

Édition 33 (2015): Edition 1 (Mars 2015)

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Publié en ligne: 13 mars 2015

Pages: 175 - 184

Reçu: 02 sept. 2014

Accepté: 01 déc. 2014

DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0036

Mots clés
aluminum nitride epilayer, atomic force microscopy, magnetron sputtering, substrate, surface roughness

© 2015

This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.

Langue:: Anglais

Périodicité:: 4 fois par an
Sujets de la revue:: Sciences des matériaux, Sciences des matériaux, autres, Nanomatériaux, Matériaux fonctionnels et intelligents, Caractérisation et propriétés des matériaux

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