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Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering

Sebastian Stach

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Lubomír Grmela

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Grmela, Lubomír
  
13. März 2015
Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering's Cover Image
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Online veröffentlicht: 13. März 2015
Seitenbereich: 175 - 184
Eingereicht: 02. Sept. 2014
Akzeptiert: 01. Dez. 2014
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0036
Schlüsselwörter
© 2015
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
4 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Materialwissenschaft, Materialwissenschaft, andere, Nanomaterialien, Funktionelle und Intelligente Materialien, Charakterisierung und Eigenschaften von Materialien
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