Acceso abierto

Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering

Sebastian Stach

Stach, Sebastian

,

Dinara Dallaeva

Dallaeva, Dinara

,

Ţălu, Ştefan

,

,

Tománek, Pavel

,

Stefano Giovanzana

Giovanzana, Stefano

y

Lubomír Grmela

Grmela, Lubomír

13 mar 2015

Morphological features in aluminum nitride epilayers prepared by magnetron sputtering's Cover Image

Materials Science-Poland

Volumen 33 (2015): Edición 1 (Marzo 2015)

Acerca de este artículo

Artículo anterior

Artículo siguiente

Cite

Compartir

Descargar portada

Publicado en línea: 13 mar 2015

Páginas: 175 - 184

Recibido: 02 sept 2014

Aceptado: 01 dic 2014

DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0036

Palabras clave
aluminum nitride epilayer, atomic force microscopy, magnetron sputtering, substrate, surface roughness

© 2015

This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.

Idioma:: Inglés

Calendario de la edición:: 4 veces al año
Temas de la revista:: Ciencia de los materiales, Ciencia de los materiales, otros, Nanomateriales, Materiales funcionales e inteligentes, Características y propiedades de los materiales

RSS Feed de revista