Logowanie
Zarejestruj się
Zresetuj hasło
Publikuj i Dystrybuuj
Rozwiązania Wydawnicze
Rozwiązania Dystrybucyjne
Dziedziny
Architektura i projektowanie
Bibliotekoznawstwo i bibliologia
Biznes i ekonomia
Chemia
Chemia przemysłowa
Filozofia
Fizyka
Historia
Informatyka
Inżynieria
Inżynieria materiałowa
Językoznawstwo i semiotyka
Kulturoznawstwo
Literatura
Matematyka
Medycyna
Muzyka
Nauki farmaceutyczne
Nauki klasyczne i starożytne studia bliskowschodnie
Nauki o Ziemi
Nauki o organizmach żywych
Nauki społeczne
Prawo
Sport i rekreacja
Studia judaistyczne
Sztuka
Teologia i religia
Zagadnienia ogólne
Publikacje
Czasopisma
Książki
Materiały konferencyjne
Wydawcy
Blog
Kontakt
Wyszukiwanie
EUR
USD
GBP
Polski
English
Deutsch
Polski
Español
Français
Italiano
Koszyk
Home
Czasopisma
Acta Universitatis Sapientiae, Electrical and Mechanical Engineering
Tom 15 (2023): Zeszyt 1 (December 2023)
Otwarty dostęp
Reactive Magnetron Sputtering Control Based on an Analytical Condition of Stoichiometry
Róbert Rossi Madarász
Róbert Rossi Madarász
oraz
András Kelemen
András Kelemen
| 25 gru 2023
Acta Universitatis Sapientiae, Electrical and Mechanical Engineering
Tom 15 (2023): Zeszyt 1 (December 2023)
O artykule
Poprzedni artykuł
Następny artykuł
Abstrakt
Referencje
Autorzy
Artykuły w tym zeszycie
Podgląd
PDF
Zacytuj
Udostępnij
Data publikacji:
25 gru 2023
Zakres stron:
74 - 85
Otrzymano:
15 cze 2023
DOI:
https://doi.org/10.2478/auseme-2023-0006
Słowa kluczowe
Reactive magnetron sputtering
,
Berg model
,
state estimation
,
stoichiometry control
© 2023 Róbert Rossi Madarász et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Róbert Rossi Madarász
Doctoral School of Applied Mathematics and Applied Informatics John von Neumann Faculty, Óbuda University
Budapest
András Kelemen
Department of Electrical Engineering, Faculty of Technical and Human Sciences, Sapientia-Hungarian University of Transylvania
Mureş