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Acta Universitatis Sapientiae, Electrical and Mechanical Engineering
Band 15 (2023): Heft 1 (December 2023)
Uneingeschränkter Zugang
Reactive Magnetron Sputtering Control Based on an Analytical Condition of Stoichiometry
Róbert Rossi Madarász
Róbert Rossi Madarász
und
András Kelemen
András Kelemen
| 25. Dez. 2023
Acta Universitatis Sapientiae, Electrical and Mechanical Engineering
Band 15 (2023): Heft 1 (December 2023)
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Online veröffentlicht:
25. Dez. 2023
Seitenbereich:
74 - 85
Eingereicht:
15. Juni 2023
DOI:
https://doi.org/10.2478/auseme-2023-0006
Schlüsselwörter
Reactive magnetron sputtering
,
Berg model
,
state estimation
,
stoichiometry control
© 2023 Róbert Rossi Madarász et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Róbert Rossi Madarász
Doctoral School of Applied Mathematics and Applied Informatics John von Neumann Faculty, Óbuda University
Budapest
András Kelemen
Department of Electrical Engineering, Faculty of Technical and Human Sciences, Sapientia-Hungarian University of Transylvania
Mureş