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Acta Universitatis Sapientiae, Electrical and Mechanical Engineering
Édition 15 (2023): Edition 1 (December 2023)
Accès libre
Reactive Magnetron Sputtering Control Based on an Analytical Condition of Stoichiometry
Róbert Rossi Madarász
Róbert Rossi Madarász
et
András Kelemen
András Kelemen
| 25 déc. 2023
Acta Universitatis Sapientiae, Electrical and Mechanical Engineering
Édition 15 (2023): Edition 1 (December 2023)
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Publié en ligne:
25 déc. 2023
Pages:
74 - 85
Reçu:
15 juin 2023
DOI:
https://doi.org/10.2478/auseme-2023-0006
Mots clés
Reactive magnetron sputtering
,
Berg model
,
state estimation
,
stoichiometry control
© 2023 Róbert Rossi Madarász et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Róbert Rossi Madarász
Doctoral School of Applied Mathematics and Applied Informatics John von Neumann Faculty, Óbuda University
Budapest
András Kelemen
Department of Electrical Engineering, Faculty of Technical and Human Sciences, Sapientia-Hungarian University of Transylvania
Mureş