Logowanie
Zarejestruj się
Zresetuj hasło
Publikuj i Dystrybuuj
Rozwiązania Wydawnicze
Rozwiązania Dystrybucyjne
Dziedziny
Architektura i projektowanie
Bibliotekoznawstwo i bibliologia
Biznes i ekonomia
Chemia
Chemia przemysłowa
Filozofia
Fizyka
Historia
Informatyka
Inżynieria
Inżynieria materiałowa
Językoznawstwo i semiotyka
Kulturoznawstwo
Literatura
Matematyka
Medycyna
Muzyka
Nauki farmaceutyczne
Nauki klasyczne i starożytne studia bliskowschodnie
Nauki o Ziemi
Nauki o organizmach żywych
Nauki społeczne
Prawo
Sport i rekreacja
Studia judaistyczne
Sztuka
Teologia i religia
Zagadnienia ogólne
Publikacje
Czasopisma
Książki
Materiały konferencyjne
Wydawcy
Blog
Kontakt
Wyszukiwanie
EUR
USD
GBP
Polski
English
Deutsch
Polski
Español
Français
Italiano
Koszyk
Home
Czasopisma
Materials Science-Poland
Tom 33 (2015): Zeszyt 4 (December 2015)
Otwarty dostęp
Properties of AlN thin films deposited by means of magnetron sputtering for ISFET applications
Piotr Firek
Piotr Firek
,
Michał Wáskiewicz
Michał Wáskiewicz
,
Bartłomiej Stonio
Bartłomiej Stonio
oraz
Jan Szmidt
Jan Szmidt
| 06 sty 2016
Materials Science-Poland
Tom 33 (2015): Zeszyt 4 (December 2015)
O artykule
Poprzedni artykuł
Następny artykuł
Abstrakt
Referencje
Autorzy
Artykuły w tym zeszycie
Podgląd
PDF
Zacytuj
Udostępnij
Data publikacji:
06 sty 2016
Zakres stron:
669 - 676
Otrzymano:
13 sty 2014
Przyjęty:
16 cze 2015
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2015-0095
Słowa kluczowe
ISFET/MISFET technology
,
AlN
,
aluminum nitride
,
magnetron sputtering
© 2015 Piotr Firek et al., published by De Gruyter Open
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Piotr Firek
Institute of Microelectronics and Optoelectronics Warsaw University of Technology
Warsaw, Poland
Michał Wáskiewicz
Institute of Microelectronics and Optoelectronics Warsaw University of Technology
Warsaw, Poland
Bartłomiej Stonio
Institute of Microelectronics and Optoelectronics Warsaw University of Technology
Warsaw, Poland
Jan Szmidt
Institute of Microelectronics and Optoelectronics Warsaw University of Technology
Warsaw, Poland