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Materials Science-Poland
Édition 33 (2015): Edition 3 (Septembre 2015)
Accès libre
Structure of AlN films deposited by magnetron sputtering method
K. Nowakowska-Langier
K. Nowakowska-Langier
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Nowakowska-Langier, K.
,
R. Chodun
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Chodun, R.
,
K. Zdunek
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Zdunek, K.
,
R. Minikayev
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Minikayev, R.
et
R. Nietubyc
R. Nietubyc
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Nietubyc, R.
30 août 2016
Materials Science-Poland
Édition 33 (2015): Edition 3 (Septembre 2015)
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Publié en ligne:
30 août 2016
Pages:
639 - 643
Reçu:
15 janv. 2015
Accepté:
25 avr. 2015
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2015-0073
Mots clés
AlN films
,
magnetron sputtering method
,
crystalline structure
© 2016
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
