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Surface morphology of titanium nitride thin films synthesized by DC reactive magnetron sputtering

Ştefan Ţǎlu

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Sebastian Stach

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Shahoo Valedbagi

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Reza Bavadi

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Bavadi, Reza
  
13. März 2015
Surface morphology of titanium nitride thin films synthesized by DC reactive magnetron sputtering's Cover Image
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Online veröffentlicht: 13. März 2015
Seitenbereich: 137 - 143
Eingereicht: 25. Juli 2014
Akzeptiert: 07. Okt. 2014
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0010
Schlüsselwörter
© 2015
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
4 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Materialwissenschaft, Materialwissenschaft, andere, Nanomaterialien, Funktionelle und Intelligente Materialien, Charakterisierung und Eigenschaften von Materialien
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