Otwarty dostęp

Microstructuring of SU-8 Resist for MEMS and Bio-Applications

P.K. Dey

P.K. Dey

Advanced Technology Centre Development, Indian Institute of TechnologyKharagpur, India
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Dey, P.K.
, 
B. Pramanick

B. Pramanick

Advanced Technology Centre Development, Indian Institute of TechnologyKharagpur, India
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Pramanick, B.
, 
A. RaviShankar

A. RaviShankar

Department of Electronics and Communication Engineering, School of Electrical Sciences, Karunya UniversityCoimbatore, India
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
RaviShankar, A.
, 
P. Ganguly

P. Ganguly

Advanced Technology Centre Development, Indian Institute of TechnologyKharagpur, India
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Ganguly, P.
 oraz 
S. Das

S. Das

School of Medical Science and Technology Indian Institute of TechnologyKharagpur, India
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Das, S.
  
13 gru 2017
Microstructuring of SU-8 Resist for MEMS and Bio-Applications's Cover Image
O artykule
Poprzedni artykuł
Następny artykuł
Zacytuj
Pobierz okładkę
Data publikacji: 13 gru 2017
Zakres stron: 118 - 129
DOI: https://doi.org/10.21307/ijssis-2017-384
Słowa kluczowe
© 2010 P.K. Dey et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Język:
Angielski
Częstotliwość wydawania:
1 razy w roku
Dziedziny czasopisma:
Inżynieria, Wstępy i przeglądy, Inżynieria, inne
Kanał RSS czasopisma