Accès libre

Microstructuring of SU-8 Resist for MEMS and Bio-Applications

P.K. Dey

P.K. Dey

Advanced Technology Centre Development, Indian Institute of TechnologyKharagpur, India
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Dey, P.K.
, 
B. Pramanick

B. Pramanick

Advanced Technology Centre Development, Indian Institute of TechnologyKharagpur, India
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Pramanick, B.
, 
A. RaviShankar

A. RaviShankar

Department of Electronics and Communication Engineering, School of Electrical Sciences, Karunya UniversityCoimbatore, India
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
RaviShankar, A.
, 
P. Ganguly

P. Ganguly

Advanced Technology Centre Development, Indian Institute of TechnologyKharagpur, India
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Ganguly, P.
 et 
S. Das

S. Das

School of Medical Science and Technology Indian Institute of TechnologyKharagpur, India
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Das, S.
  
13 déc. 2017
Microstructuring of SU-8 Resist for MEMS and Bio-Applications's Cover Image
À propos de cet article
Article précédent
Article suivant
Citez
Télécharger la couverture
Publié en ligne: 13 déc. 2017
Pages: 118 - 129
DOI: https://doi.org/10.21307/ijssis-2017-384
Mots clés
© 2010 P.K. Dey et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Langue:
Anglais
Périodicité:
1 fois par an
Sujets de la revue:
Ingénierie, Présentations et aperçus, Ingénierie, autres
RSS Feed de la revue