Otwarty dostęp

Thin SixNyCz films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications

Katarzyna Oleśko

Katarzyna Oleśko

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Oleśko, Katarzyna
, 
Hieronim Szymanowski

Hieronim Szymanowski

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Szymanowski, Hieronim
, 
Maciej Gazicki-Lipman

Maciej Gazicki-Lipman

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Gazicki-Lipman, Maciej
, 
Jacek Balcerzak

Jacek Balcerzak

Department of Molecular Engineering, Faculty of Process and Environmental Engineering, Lodz University of Technology, Wolczanska 213, 90-924Lodz, Poland
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Balcerzak, Jacek
, 
Witold Szymań Ski

Witold Szymań Ski

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Ski, Witold Szymań
, 
Wojciech Pawlak

Wojciech Pawlak

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Pawlak, Wojciech
 oraz 
Anna Sobczyk-Guzenda

Anna Sobczyk-Guzenda

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Wyszukaj tego autora
Sciendo|Google Scholar
Sobczyk-Guzenda, Anna
  
18 maj 2018
Thin SixNyCz films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications's Cover Image
O artykule
Poprzedni artykuł
Następny artykuł
Zacytuj
Pobierz okładkę
Data publikacji: 18 maj 2018
Zakres stron: 56 - 68
Otrzymano: 13 mar 2017
Przyjęty: 08 gru 2017
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2017-0109
Słowa kluczowe
© 2018
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.
Język:
Angielski
Częstotliwość wydawania:
4 razy w roku
Dziedziny czasopisma:
Nauka o materiałach, Nauka o materiałach, inne, Nanomateriały, Funkcjonalne i inteligentne materiały, Charakterystyka i właściwości materiałów
Kanał RSS czasopisma