Accès libre

Thin SixNyCz films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications

Katarzyna Oleśko

Katarzyna Oleśko

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Oleśko, Katarzyna
, 
Hieronim Szymanowski

Hieronim Szymanowski

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Szymanowski, Hieronim
, 
Maciej Gazicki-Lipman

Maciej Gazicki-Lipman

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Gazicki-Lipman, Maciej
, 
Jacek Balcerzak

Jacek Balcerzak

Department of Molecular Engineering, Faculty of Process and Environmental Engineering, Lodz University of Technology, Wolczanska 213, 90-924Lodz, Poland
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Balcerzak, Jacek
, 
Witold Szymań Ski

Witold Szymań Ski

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Ski, Witold Szymań
, 
Wojciech Pawlak

Wojciech Pawlak

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Pawlak, Wojciech
 et 
Anna Sobczyk-Guzenda

Anna Sobczyk-Guzenda

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
Recherchez cet auteur sur
Sciendo|Google Scholar
Sobczyk-Guzenda, Anna
  
18 mai 2018
Thin SixNyCz films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications's Cover Image
À propos de cet article
Article précédent
Article suivant
Citez
Télécharger la couverture
Publié en ligne: 18 mai 2018
Pages: 56 - 68
Reçu: 13 mars 2017
Accepté: 08 déc. 2017
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2017-0109
Mots clés
© 2018
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.
Langue:
Anglais
Périodicité:
4 fois par an
Sujets de la revue:
Sciences des matériaux, Sciences des matériaux, autres, Nanomatériaux, Matériaux fonctionnels et intelligents, Caractérisation et propriétés des matériaux
RSS Feed de la revue