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Thin SixNyCz films deposited from hexamethyldisilazane by RF PECVD technique for optical filter applications

Katarzyna Oleśko

Katarzyna Oleśko

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
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Oleśko, Katarzyna
, 
Hieronim Szymanowski

Hieronim Szymanowski

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
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Szymanowski, Hieronim
, 
Maciej Gazicki-Lipman

Maciej Gazicki-Lipman

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
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Gazicki-Lipman, Maciej
, 
Jacek Balcerzak

Jacek Balcerzak

Department of Molecular Engineering, Faculty of Process and Environmental Engineering, Lodz University of Technology, Wolczanska 213, 90-924Lodz, Poland
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Balcerzak, Jacek
, 
Witold Szymań Ski

Witold Szymań Ski

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
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Ski, Witold Szymań
, 
Wojciech Pawlak

Wojciech Pawlak

Institute of Materials Science and Engineering, Lodz University of Technology, Stefanowskiego 1/15, 90-924Lodz, Poland
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Pawlak, Wojciech
 und 
Anna Sobczyk-Guzenda

Anna Sobczyk-Guzenda

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Sobczyk-Guzenda, Anna
  
18. Mai 2018
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Online veröffentlicht: 18. Mai 2018
Seitenbereich: 56 - 68
Eingereicht: 13. März 2017
Akzeptiert: 08. Dez. 2017
DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2017-0109
Schlüsselwörter
© 2018
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.
Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
4 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Materialwissenschaft, Materialwissenschaft, andere, Nanomaterialien, Funktionelle und Intelligente Materialien, Charakterisierung und Eigenschaften von Materialien
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