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Journal of Electrical Engineering
Édition 65 (2014): Edition 6 (November 2014)
Accès libre
Electron Beam Lithography Double Step Exposure Technique for Fabrication of Mushroom-Like Profile in Bilayer Resist System
Indykiewicz Kornelia
Indykiewicz Kornelia
,
Paszkiewicz Bogdan
Paszkiewicz Bogdan
,
Szymański Tomasz
Szymański Tomasz
et
Paszkiewicz Regina
Paszkiewicz Regina
| 31 janv. 2015
Journal of Electrical Engineering
Édition 65 (2014): Edition 6 (November 2014)
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Publié en ligne:
31 janv. 2015
Pages:
381 - 385
Reçu:
15 juin 2014
DOI:
https://doi.org/10.2478/jee-2014-0062
© 2015 Faculty of Electrical Engineering and Information Technology, Slovak University of Technology
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Indykiewicz Kornelia
Paszkiewicz Bogdan
Szymański Tomasz
Paszkiewicz Regina
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, 27 Wybrzeze Wyspiańskiego Str., 50-370 Wroclaw, Poland