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Reactive Magnetron Sputtering Control Based on an Analytical Condition of Stoichiometry

Róbert Rossi Madarász

Róbert Rossi Madarász

Doctoral School of Applied Mathematics and Applied Informatics, John von Neumann Faculty, Óbuda UniversityBudapest,
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Madarász, Róbert Rossi
 et 
András Kelemen

András Kelemen

Department of Electrical Engineering, Faculty of Technical and Human Sciences, Sapientia-Hungarian University of TransylvaniaMureş,
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Kelemen, András
  
25 déc. 2023
Reactive Magnetron Sputtering Control Based on an Analytical Condition of Stoichiometry's Cover Image
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Publié en ligne: 25 déc. 2023
Pages: 74 - 85
Reçu: 15 juin 2023
DOI: https://doi.org/10.2478/auseme-2023-0006
Mots clés
© 2023 Róbert Rossi Madarász et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Langue:
Anglais
Périodicité:
1 fois par an
Sujets de la revue:
Ingénierie, Ingénierie électrique, Informatique, Génie énergétique, Génie mécanique, Outils et méthodes, Génie des procédés et génie industriel
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