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Optimization of Nano-Grating Pitch Evaluation Method Based on Line Edge Roughness Analysis

Jie Chen

Jie Chen

Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,Shanghai, China
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Chen, Jie
, 
Jie Liu

Jie Liu

Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,Shanghai, China
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Liu, Jie
, 
Xingrui Wang

Xingrui Wang

Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,Shanghai, China
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Wang, Xingrui
, 
Longfei Zhang

Longfei Zhang

Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,Shanghai, China
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Zhang, Longfei
, 
Xiao Deng

Xiao Deng

School of Aerospace Engineering and Applied Mechanics, Tongji University, 200092,Shanghai, China
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Deng, Xiao
, 
Xinbin Cheng

Xinbin Cheng

Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,Shanghai, China
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Cheng, Xinbin
 et 
Tongbao Li

Tongbao Li

Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,Shanghai, China
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Li, Tongbao
  
22 nov. 2017
Optimization of Nano-Grating Pitch Evaluation Method Based on Line Edge Roughness Analysis's Cover Image
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Publié en ligne: 22 nov. 2017
Pages: 264 - 268
Reçu: 30 juil. 2017
Accepté: 13 nov. 2017
DOI: https://doi.org/10.1515/msr-2017-0032
Mots clés
© by Xiao Deng
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.
Langue:
Anglais
Périodicité:
6 fois par an
Sujets de la revue:
Ingénierie, Ingénierie électrique, Ingénierie de contrôle, métrologie et essais
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