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Measurement Science Review
Volumen 17 (2017): Edición 6 (Diciembre 2017)
Acceso abierto
Optimization of Nano-Grating Pitch Evaluation Method Based on Line Edge Roughness Analysis
Jie Chen
Jie Chen
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
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Chen, Jie
,
Jie Liu
Jie Liu
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
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Liu, Jie
,
Xingrui Wang
Xingrui Wang
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
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Wang, Xingrui
,
Longfei Zhang
Longfei Zhang
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
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Zhang, Longfei
,
Xiao Deng
Xiao Deng
School of Aerospace Engineering and Applied Mechanics, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
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Deng, Xiao
,
Xinbin Cheng
Xinbin Cheng
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
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Cheng, Xinbin
y
Tongbao Li
Tongbao Li
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
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Li, Tongbao
22 nov 2017
Measurement Science Review
Volumen 17 (2017): Edición 6 (Diciembre 2017)
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Publicado en línea:
22 nov 2017
Páginas:
264 - 268
Recibido:
30 jul 2017
Aceptado:
13 nov 2017
DOI:
https://doi.org/10.1515/msr-2017-0032
Palabras clave
Pitch evaluation
,
nano-grating standard
,
line edge roughness
,
atomic force microscope
© by Xiao Deng
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.
