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Materials Science-Poland
Édition 33 (2015): Edition 3 (September 2015)
Accès libre
Structure of AlN films deposited by magnetron sputtering method
K. Nowakowska-Langier
K. Nowakowska-Langier
,
R. Chodun
R. Chodun
,
K. Zdunek
K. Zdunek
,
R. Minikayev
R. Minikayev
et
R. Nietubyc
R. Nietubyc
| 30 août 2016
Materials Science-Poland
Édition 33 (2015): Edition 3 (September 2015)
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Publié en ligne:
30 août 2016
Pages:
639 - 643
Reçu:
15 janv. 2015
Accepté:
25 avr. 2015
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2015-0073
Mots clés
AlN films
,
magnetron sputtering method
,
crystalline structure
© 2016
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
K. Nowakowska-Langier
Department of Material Physics, National Centre for Nuclear Research (NCBJ), Andrzeja Soltana 7, 05-400 Otwock-Swierk, Poland
R. Chodun
Faculty of Materials Science and Engineering, Warsaw University of Technology, Woloska 141, 02-507 Warsaw, Poland
K. Zdunek
Faculty of Materials Science and Engineering, Warsaw University of Technology, Woloska 141, 02-507 Warsaw, Poland
R. Minikayev
Institute of Physics, Polish Academy of Sciences, al. Lotnikow 32/46, 02-668, Warsaw, Poland
R. Nietubyc
Department of Material Physics, National Centre for Nuclear Research (NCBJ), Andrzeja Soltana 7, 05-400 Otwock-Swierk, Poland