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Proceedings of the Latvian Academy of Sciences. Section B. Natural, Exact, and Applied Sciences.
Band 76 (2022): Heft 2 (April 2022)
Uneingeschränkter Zugang
Towards Next-Generation Small-Size Boron Ion Implanting Apparatus
Jānis Blahins
Jānis Blahins
und
Arnolds Ubelis
Arnolds Ubelis
| 02. Juni 2022
Proceedings of the Latvian Academy of Sciences. Section B. Natural, Exact, and Applied Sciences.
Band 76 (2022): Heft 2 (April 2022)
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Online veröffentlicht:
02. Juni 2022
Seitenbereich:
198 - 203
Eingereicht:
24. Mai 2021
Akzeptiert:
27. März 2022
DOI:
https://doi.org/10.2478/prolas-2022-0030
Schlüsselwörter
ion implantation
,
boron ion source
,
simple implanting apparatus
© 2022 Jānis Blahins et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.