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Towards Next-Generation Small-Size Boron Ion Implanting Apparatus

Jānis Blahins

Jānis Blahins

National Science Platform Platform FOTONIKA-LV, Institute of Atomic Physics and Spectroscopy, University of LatviaRīga, Latvia
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Blahins, Jānis
 und 
Arnolds Ubelis

Arnolds Ubelis

National Science Platform Platform FOTONIKA-LV, Institute of Atomic Physics and Spectroscopy, University of LatviaRīga, Latvia
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Ubelis, Arnolds
  
02. Juni 2022
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Online veröffentlicht: 02. Juni 2022
Seitenbereich: 198 - 203
Eingereicht: 24. Mai 2021
Akzeptiert: 27. März 2022
DOI: https://doi.org/10.2478/prolas-2022-0030
Schlüsselwörter
© 2022 Jānis Blahins et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
6 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Allgemein, Mathematik, Mathematik, Allgemeines
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