Towards Next-Generation Small-Size Boron Ion Implanting Apparatus
und
02. Juni 2022
Über diesen Artikel
Online veröffentlicht: 02. Juni 2022
Seitenbereich: 198 - 203
Eingereicht: 24. Mai 2021
Akzeptiert: 27. März 2022
DOI: https://doi.org/10.2478/prolas-2022-0030
Schlüsselwörter
© 2022 Jānis Blahins et al., published by Sciendo
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Blahins, Jānis
National Science Platform Platform FOTONIKA-LV, Institute of Atomic Physics and Spectroscopy, University of LatviaRīga, Latvia
Ubelis, Arnolds
National Science Platform Platform FOTONIKA-LV, Institute of Atomic Physics and Spectroscopy, University of LatviaRīga, Latvia