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Materials Science-Poland
Band 33 (2015): Heft 1 (March 2015)
Uneingeschränkter Zugang
Computer simulation of sputtering of graphite target in magnetron sputtering device with two zones of erosion
R.V. Bogdanov
R.V. Bogdanov
und
O.M. Kostiukevych
O.M. Kostiukevych
| 13. März 2015
Materials Science-Poland
Band 33 (2015): Heft 1 (March 2015)
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Online veröffentlicht:
13. März 2015
Seitenbereich:
82 - 94
Eingereicht:
21. Mai 2014
Akzeptiert:
20. Sept. 2014
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2015-0001
© 2015
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.