Computer simulation of sputtering of graphite target in magnetron sputtering device with two zones of erosion

Online veröffentlicht: 13. März 2015

Seitenbereich: 82 - 94

Eingereicht: 21. Mai 2014

Akzeptiert: 20. Sept. 2014

DOI: https://doi.org/10.1515/msp-2015-0001

Schlüsselwörter

Monte Carlo computer simulation, magnetron sputtering, flux of particles, carbon, graphite target, energy of particles

© 2015

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