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Measurement Science Review
Volume 14 (2014): Numero 1 (February 2014)
Accesso libero
Interferometer -based Technology for Optical Nanoscale Inspection
M. Ryabko
M. Ryabko
,
S. Koptyaev
S. Koptyaev
,
A. Shcherbakov
A. Shcherbakov
e
A. Lantsov
A. Lantsov
| 06 mar 2014
Measurement Science Review
Volume 14 (2014): Numero 1 (February 2014)
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Pubblicato online:
06 mar 2014
Pagine:
25 - 28
DOI:
https://doi.org/10.2478/msr-2014-0004
Parole chiave
Critical dimension
,
nanoscale inspection
,
nanoscale measurements
,
interferometry
This content is open access.
M. Ryabko
SAIT-Russia Laboratory, Samsung Research Institute Russia, Dvintsev str. No 12, 127018, Moscow, Russia
S. Koptyaev
SAIT-Russia Laboratory, Samsung Research Institute Russia, Dvintsev str. No 12, 127018, Moscow, Russia
A. Shcherbakov
SAIT-Russia Laboratory, Samsung Research Institute Russia, Dvintsev str. No 12, 127018, Moscow, Russia
A. Lantsov
SAIT-Russia Laboratory, Samsung Research Institute Russia, Dvintsev str. No 12, 127018, Moscow, Russia