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Materials Science-Poland
Volume 34 (2016): Numero 1 (March 2016)
Accesso libero
Preliminary comparison of three processes of AlN oxidation: dry, wet and mixed ones
R. Korbutowicz
R. Korbutowicz
e
A. Zakrzewski
A. Zakrzewski
| 27 apr 2016
Materials Science-Poland
Volume 34 (2016): Numero 1 (March 2016)
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Article Category:
Research Article
Pubblicato online:
27 apr 2016
Pagine:
157 - 163
Ricevuto:
16 ago 2016
Accettato:
16 nov 2016
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2016-0010
Parole chiave
thermal oxidation
,
AlN
,
AlO
,
AlON
,
EDS
,
SE
© 2016 Wroclaw University of Technology
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
R. Korbutowicz
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11-17, 50-370 Wroclaw,
Poland
A. Zakrzewski
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11-17, 50-370 Wroclaw,
Poland