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Journal of Electrical Engineering
Édition 62 (2011): Edition 6 (November 2011)
Accès libre
Development and Fabrication of TiO
2
Tip Arrays for Gas Sensing
Ivan Hotový
Ivan Hotový
,
Ivan Kostič
Ivan Kostič
,
Štefan HAščík
Štefan HAščík
,
Vlastimil ŘEháček
Vlastimil ŘEháček
,
Jozef Liday
Jozef Liday
et
Helmut Sitter
Helmut Sitter
| 21 déc. 2011
Journal of Electrical Engineering
Édition 62 (2011): Edition 6 (November 2011)
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Publié en ligne:
21 déc. 2011
Pages:
363 - 366
DOI:
https://doi.org/10.2478/v10187-011-0058-3
Mots clés
TiO thin films
,
dc magnetron sputtering
,
reactive ion etching
,
electron beam lithography
,
tip array
This content is open access.
Ivan Hotový
Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovičova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia
Ivan Kostič
Institute of Informatics, Slovak Academy of Sciences, Dubravska cesta 9, 824 39 Bratislava, Slovakia
Štefan HAščík
Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Dubravská cesta 9, 845 07 Bratislava, Slovakia
Vlastimil ŘEháček
Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovičova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia
Jozef Liday
Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovičova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia
Helmut Sitter
Institute of Semiconductor and Solid State Physics, Johannes Kepler University, Altenbergerstr. 69, A-4040 Linz, Austria