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Journal of Electrical Engineering
Édition 62 (2011): Edition 6 (November 2011)
Accès libre
Development and Fabrication of TiO
2
Tip Arrays for Gas Sensing
Ivan Hotový
Ivan Hotový
,
Ivan Kostič
Ivan Kostič
,
Štefan HAščík
Štefan HAščík
,
Vlastimil ŘEháček
Vlastimil ŘEháček
,
Jozef Liday
Jozef Liday
et
Helmut Sitter
Helmut Sitter
| 21 déc. 2011
Journal of Electrical Engineering
Édition 62 (2011): Edition 6 (November 2011)
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Publié en ligne:
21 déc. 2011
Pages:
363 - 366
DOI:
https://doi.org/10.2478/v10187-011-0058-3
Mots clés
TiO thin films
,
dc magnetron sputtering
,
reactive ion etching
,
electron beam lithography
,
tip array
This content is open access.