Connexion
S'inscrire
Réinitialiser le mot de passe
Publier & Distribuer
Solutions d'édition
Solutions de distribution
Thèmes
Publications
Journaux
Livres
Comptes-rendus
Éditeurs
Blog
Contact
Chercher
EUR
USD
GBP
Français
English
Deutsch
Polski
Español
Français
Italiano
Panier
Home
Journaux
Journal of Electrical Engineering
Édition 70 (2019): Edition 7 (December 2019)
Accès libre
Approximate methods for the optical characterization of inhomogeneous thin films: Applications to silicon nitride films
Ivan Ohlídal
Ivan Ohlídal
,
Jiří Vohánka
Jiří Vohánka
,
Daniel Franta
Daniel Franta
,
Martin Čermák
Martin Čermák
,
Jaroslav Ženíšek
Jaroslav Ženíšek
et
Petr Vašina
Petr Vašina
| 28 sept. 2019
Journal of Electrical Engineering
Édition 70 (2019): Edition 7 (December 2019)
Special Issue
À propos de cet article
Article précédent
Article suivant
Résumé
Références
Auteurs
Articles dans cette édition
Aperçu
PDF
Citez
Partagez
Publié en ligne:
28 sept. 2019
Pages:
16 - 26
Reçu:
19 mars 2019
DOI:
https://doi.org/10.2478/jee-2019-0037
Mots clés
reflectance
,
ellipsometric parameters
,
inhomogeneous thin films
,
optical characterization
© 2019 Ivan Ohlídal et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.