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Measurement Science Review
Volumen 17 (2017): Edición 6 (December 2017)
Acceso abierto
Optimization of Nano-Grating Pitch Evaluation Method Based on Line Edge Roughness Analysis
Jie Chen
Jie Chen
,
Jie Liu
Jie Liu
,
Xingrui Wang
Xingrui Wang
,
Longfei Zhang
Longfei Zhang
,
Xiao Deng
Xiao Deng
,
Xinbin Cheng
Xinbin Cheng
y
Tongbao Li
Tongbao Li
| 22 nov 2017
Measurement Science Review
Volumen 17 (2017): Edición 6 (December 2017)
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Publicado en línea:
22 nov 2017
Páginas:
264 - 268
Recibido:
30 jul 2017
Aceptado:
13 nov 2017
DOI:
https://doi.org/10.1515/msr-2017-0032
Palabras clave
Pitch evaluation
,
nano-grating standard
,
line edge roughness
,
atomic force microscope
© by Xiao Deng
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.
Jie Chen
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
Jie Liu
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
Xingrui Wang
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
Longfei Zhang
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
Xiao Deng
School of Aerospace Engineering and Applied Mechanics, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
Xinbin Cheng
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China
Tongbao Li
Institute of Precision Optical Engineering, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, 200092,
Shanghai, China