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Impact of lanthanum doped zirconium oxide (LaZrO2) gate dielectric material on FinFET inverter

,  und   
19. Nov. 2020

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Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
1 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Technik, Einführungen und Gesamtdarstellungen, Technik, andere