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Materials Science-Poland
Band 34 (2016): Heft 4 (December 2016)
Uneingeschränkter Zugang
Scanning capacitance microscopy characterization of AIIIBV epitaxial layers
Adam Szyszka
Adam Szyszka
,
Michał Obłąk
Michał Obłąk
,
Tomasz Szymański
Tomasz Szymański
,
Mateusz Wośko
Mateusz Wośko
,
Wojciech Dawidowski
Wojciech Dawidowski
und
Regina Paszkiewicz
Regina Paszkiewicz
| 04. Jan. 2017
Materials Science-Poland
Band 34 (2016): Heft 4 (December 2016)
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Online veröffentlicht:
04. Jan. 2017
Seitenbereich:
845 - 850
Eingereicht:
19. Apr. 2016
Akzeptiert:
07. Sept. 2016
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2016-0104
Schlüsselwörter
scanning capacitance microscopy (SCM)
,
atomic force microscopy (AFM)
,
GaAs
,
InGaAs
,
AlGaN/GaN
© 2016 Wroclaw University of Technology
This article is distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License, which permits unrestricted non-commercial use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited.