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Materials Science-Poland
Band 34 (2016): Heft 2 (June 2016)
Uneingeschränkter Zugang
The impact of medium frequency pulsed magnetron discharge power on the single probe Langmuir measurements and resulted plasma parameters
A Wiatrowski
A Wiatrowski
und
W.M Posadowski
W.M Posadowski
| 20. Apr. 2016
Materials Science-Poland
Band 34 (2016): Heft 2 (June 2016)
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Article Category:
Research Article
Online veröffentlicht:
20. Apr. 2016
Seitenbereich:
374 - 385
Eingereicht:
13. Okt. 2015
Akzeptiert:
22. Nov. 2015
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2016-0012
Schlüsselwörter
titanium
,
copper
,
magnetron sputtering
,
pulsed magnetron sputtering
,
medium frequency pulsed magnetron sputtering
,
Langmuir probe measurements
,
Dora Power Systems
© 2016 Wroclaw University of Technology
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
A Wiatrowski
Faculty of Microsystems Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wroclaw, Poland
W.M Posadowski
Faculty of Microsystems Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wroclaw, Poland