Logowanie
Zarejestruj się
Zresetuj hasło
Publikuj i Dystrybuuj
Rozwiązania Wydawnicze
Rozwiązania Dystrybucyjne
Dziedziny
Architektura i projektowanie
Bibliotekoznawstwo i bibliologia
Biznes i ekonomia
Chemia
Chemia przemysłowa
Filozofia
Fizyka
Historia
Informatyka
Inżynieria
Inżynieria materiałowa
Językoznawstwo i semiotyka
Kulturoznawstwo
Literatura
Matematyka
Medycyna
Muzyka
Nauki farmaceutyczne
Nauki klasyczne i starożytne studia bliskowschodnie
Nauki o Ziemi
Nauki o organizmach żywych
Nauki społeczne
Prawo
Sport i rekreacja
Studia judaistyczne
Sztuka
Teologia i religia
Zagadnienia ogólne
Publikacje
Czasopisma
Książki
Materiały konferencyjne
Wydawcy
Blog
Kontakt
Wyszukiwanie
EUR
USD
GBP
Polski
English
Deutsch
Polski
Español
Français
Italiano
Koszyk
Home
Czasopisma
Journal of Electrical Engineering
Tom 62 (2011): Zeszyt 1 (January 2011)
Otwarty dostęp
Gadolinium Scandate: Next Candidate for Alternative Gate Dielectric in CMOS Technology?
Karol Fröhlich
Karol Fröhlich
,
Ján Fedor
Ján Fedor
,
Ivan Kostič
Ivan Kostič
,
Ján Maňka
Ján Maňka
oraz
Peter Ballo
Peter Ballo
| 07 cze 2011
Journal of Electrical Engineering
Tom 62 (2011): Zeszyt 1 (January 2011)
O artykule
Poprzedni artykuł
Następny artykuł
Abstrakt
Referencje
Autorzy
Artykuły w tym zeszycie
Podgląd
PDF
Zacytuj
Udostępnij
Data publikacji:
07 cze 2011
Zakres stron:
54 - 56
DOI:
https://doi.org/10.2478/v10187-011-0009-z
Słowa kluczowe
CMOS technology
,
gate dielectric
,
high-κ
,
X-ray diffraction
,
X-ray reflectivity
This content is open access.
Karol Fröhlich
Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava
Ján Fedor
Institute of Electrical Engineering, Slovak Academy of Sciences, Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava
Ivan Kostič
Institute of Informatics, Institute of Measurement Science, Slovak Academy of Sciences, Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava
Ján Maňka
Slovak Academy of Sciences, Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava
Peter Ballo
Faculty of Electrical Engineering and Information Technology, Slovak University of Technology, Ilkovičova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia