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Journal of Electrical Engineering
Volume 71 (2020): Numero 5 (September 2020)
Accesso libero
Fabrication of nano-patterns of photoresist by ultraviolet lithography and oxygen plasma
E Cheng
E Cheng
,
Suzhou Tang
Suzhou Tang
,
Helin Zou
Helin Zou
,
Zhengyan Zhang
Zhengyan Zhang
e
Yao Wang
Yao Wang
| 26 nov 2020
Journal of Electrical Engineering
Volume 71 (2020): Numero 5 (September 2020)
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Article Category:
Papers
Pubblicato online:
26 nov 2020
Pagine:
359 - 364
Ricevuto:
16 set 2020
DOI:
https://doi.org/10.2478/jee-2020-0049
Parole chiave
nano-patterns
,
fabrication
,
ultraviolet lithography
,
oxygen plasma
© 2020 E Cheng et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.