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Acta Universitatis Sapientiae, Informatica
Volume 12 (2020): Numero 1 (July 2020)
Accesso libero
Modeling reactive magnetron sputtering: a survey of different modeling approaches
Rossi Róbert Madarász
Rossi Róbert Madarász
,
András Kelemen
András Kelemen
e
Péter Kádár
Péter Kádár
| 16 lug 2020
Acta Universitatis Sapientiae, Informatica
Volume 12 (2020): Numero 1 (July 2020)
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Pubblicato online:
16 lug 2020
Pagine:
112 - 136
Ricevuto:
03 mag 2020
Accettato:
08 giu 2020
DOI:
https://doi.org/10.2478/ausi-2020-0008
Parole chiave
mathematical modeling
,
parameter identification
,
control theory
,
computer simulation
,
reactive magnetron sputtering
© 2020 Rossi Róbert Madarász et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.
Rossi Róbert Madarász
Doctoral School of Applied Informatics and Applied Mathematics, Óbuda University Budapest
Hungary
András Kelemen
Sapientia Hungarian University of Transylvania,
Cluj-Napoca, Romania
Péter Kádár
Óbuda University,
Budapest, Hungary