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Annals of West University of Timisoara - Physics
Volume 56 (2012): Numero 1 (Dicembre 2012)
Accesso libero
On Both Spatial And Velocity Distribution Of Sputtered Particles In Magnetron Discharge
C. Vitelaru
C. Vitelaru
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G. Popa
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Popa, G.
05 ott 2015
Annals of West University of Timisoara - Physics
Volume 56 (2012): Numero 1 (Dicembre 2012)
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Pubblicato online:
05 ott 2015
Pagine:
43 - 57
Ricevuto:
28 dic 2011
Accettato:
19 gen 2012
DOI:
https://doi.org/10.1515/awutp-2015-0007
Parole chiave
pulsed magnetron
,
tunable diode laser spectroscopy
,
neutral distributions
© C. Vitelaru et al.
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
